Chinas Binhua Group produziert 6N-Hochreines Fluorwasserstoff für Halbleiter
Binhua Group hat die industrielle Produktion von hochreinem Fluorwasserstoff (HF) der 6N-Klasse (99,9999 %) aufgenommen. Dieses kritische Material für die fortschrittliche Chipherstellung reduziert die Abhängigkeit von ausländischen Lieferanten.
Das chinesische Chemieunternehmen Binhua Group hat den Beginn der industriellen Produktion von hochreinem Fluorwasserstoff (HF) der 6N-Klasse (99,9999 %) bekannt gegeben. HF, bekannt als das "chemische Skalpell" der Halbleiterindustrie, ist ein unverzichtbarer Rohstoff für die Ätz- und Reinigungsprozesse von Chips.
HF der 6N-Klasse ist unerlässlich für die Herstellung fortschrittlicher Chips mit Prozesstechnologien von 28 Nanometern und darunter. Historisch gesehen war die Kerntechnologie für dieses Material in den Händen ausländischer Unternehmen, während die heimische Produktion typischerweise auf die 5N-Klasse (99,999 %) beschränkt war. Selbst geringfügige Verunreinigungen können die Ausbeute und Zuverlässigkeit heimisch produzierter Chips erheblich beeinträchtigen, was es zu einem typischen "Engpassmaterial" macht.
Diese neue heimische Produktion zielt darauf ab, diese internationale Abhängigkeit zu durchbrechen. Zuvor kontrollierten ausländische Firmen etwa 80 % des globalen Marktes für HF der 6N-Klasse, dessen Preise 2 Millionen Yuan pro Tonne überstiegen. Das Produkt von Binhua Group soll internationalen Standards entsprechen, mit kritischen Metallionenverunreinigungen unter 1 Teil pro Milliarde (ppb).
Das Unternehmen gab an, dass der Produktionsdurchbruch das Ergebnis umfassender Systeminnovationen und nicht nur einer einzelnen technischen Leistung sei. Dies beinhaltete die Überwindung von Herausforderungen bei der mehrstufigen Destillation, der Materialauswahl für Anlagen, der Sauberkeit von Gasflaschen und der präzisen Messung von Spurenverunreinigungen. Binhua hat den Bau und die Inbetriebnahme einer Abfüllanlage mit einer Kapazität von 50 Tonnen pro Jahr abgeschlossen und die erforderlichen Genehmigungen für Produktion und Vertrieb erhalten.
Binhua hat begonnen, das Produkt Schlüsselunternehmen der Branche anzubieten. Diese Entwicklung wird voraussichtlich die Wettbewerbsfähigkeit der regionalen Chemieindustrie im Bereich hochreiner Elektronikchemikalien stärken und die nationalen Bemühungen um Selbstversorgung in der Halbleiterlieferkette unterstützen.