EHT Semi integriert Bird RF-Messung zur Verbesserung der Halbleiterprozesskontrolle
EHT Semi hat die Bird RF-Messtechnik in seine Stromversorgungssysteme für die Halbleiterfertigung integriert, um die Prozessgenauigkeit und Zuverlässigkeit zu verbessern. Die neue Lösung bietet eine einheitliche Messreferenz von der Kalibrierung bis zur Produktion.
Seattle, WA – EHT Semi hat die Integration der Bird RF-Messtechnik in seine Stromversorgungssysteme für die Halbleiterfertigung bekannt gegeben, darunter das Orion™ Direct RF™ System und maßgeschneiderte Wellenformgeneratoren. Eine integrierte Bird-Sonde mit NIST-rückführbarer Kalibrierung ermöglicht die Primärmessung von Leistung, Spannung, Strom und Impedanz.
Die Integration zielt darauf ab, Messkontinuität von der Werkskalibrierung und Systemvalidierung bis hin zu Test und Messung in der Fabrik zu gewährleisten. Dieser Ansatz bietet Halbleiterherstellern eine gemeinsame Messreferenz über den gesamten Lebenszyklus der Ausrüstung hinweg und erhöht die Zuverlässigkeit der RF-Leistungsdaten, die zur Charakterisierung, Verifizierung und Steuerung fortschrittlicher Prozesse verwendet werden.
Die integrierte Bird-Sonde ist jetzt in ausgewählten Orion™ Direct RF™ Systemen und maßgeschneiderten Wellenform-Stromversorgungssystemen verfügbar. Die resultierende Mess- und Steuerungsarchitektur ermöglicht eine Leistungsregelung innerhalb von 2 % des Sollwerts bei schnellen, dynamischen Laständerungen und unterstützt die für anspruchsvolle Plasma- und Prozessbedingungen erforderliche Stabilität und Reaktionsfähigkeit.
Die Integration basiert auf einer Zusammenarbeit zwischen EHT Semi und Bird, die darauf abzielt, branchenweit vertraute RF-Messtechnik auf die Bedürfnisse der Halbleiterfertigung anzuwenden. Die hochpräzisen Messdaten, die von den integrierten Bird-Sonden generiert werden, können fortschrittliche Diagnostik, Prozessanalysen und die Entwicklung von KI-beschleunigten Rückmelde- und Regelungsstrategien unterstützen.