Fraunhofer-Institut entwickelt nachhaltigere Methoden zur Mikrochip-Produktion
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS beteiligt sich am EU-Projekt GENESIS, das Technologien zur Reduzierung des ökologischen Fußabdrucks der Mikrochip-Herstellung entwickeln soll. Der Fokus liegt auf Emissionsminderung, Ersatz kritischer Materialien und Recycling.
Das Fraunhofer-Institut arbeitet im Rahmen des europäischen GENESIS-Projekts daran, die Herstellung von Mikrochips nachhaltiger zu gestalten. Die steigende Nachfrage nach Halbleitern führt zu einer wachsenden Umweltbelastung in der Produktion. Das Fraunhofer IPMS kooperiert mit über 50 europäischen Partnern, um neue Technologien zu entwickeln, die mit dem European Green Deal und dem EU Chips Act übereinstimmen.
Das GENESIS-Projekt (Generate in Europe a Sustainable Industry for Semiconductors) zielt darauf ab, die Nachhaltigkeit über den gesamten Lebenszyklus von Mikrochips bis 2028 zu verbessern. Schwerpunkte sind die Reduzierung von Emissionen, die Verringerung der Abhängigkeit von kritischen Rohstoffen und die Weiterentwicklung von Recyclingansätzen. Das Projekt wird durch das EU-Programm Chips Joint Undertaking, mehrere Mitgliedstaaten und das Schweizer Staatssekretariat für Bildung, Forschung und Innovation gefördert.
Das Fraunhofer IPMS leitet das Arbeitspaket zur Minimierung von Abfall und Emissionen. Die Forschung konzentriert sich auf die Reduzierung des Einsatzes von per- und polyfluorierten Alkylsubstanzen (PFAS) sowie auf die Untersuchung alternativer Materialien und Methoden. Das Institut befasst sich auch mit Prozessgasen wie Schwefelhexafluorid (SF₆) und Stickstofftrifluorid (NF₃), die ein hohes Treibhauspotenzial aufweisen, durch die Optimierung von Abgasreinigungssystemen.
Das Projekt erforscht zudem die Wiederverwendbarkeit von Materialien, insbesondere die Aufbereitung und Wiederverwendung von chemisch-mechanischen Polierschlämmen (CMP), die beim Polieren von Wafern verwendet werden. Ziel ist es, den Material- und Wasserverbrauch zu senken, die Abfallerzeugung zu minimieren und wertvolle Rohstoffe zurück in den Produktionskreislauf zu führen.
Die modernen Reinräume des Fraunhofer IPMS bieten eine realistische Umgebung für die Erprobung nachhaltiger Halbleiterprozesse und die Bewertung ihrer Auswirkungen auf industrielle Fertigungsprozesse in Zusammenarbeit mit Projektpartnern.