Gigaphoton führt neues System zur Rückgewinnung von Neon für die Halbleiterfertigung ein
Der japanische Hersteller Gigaphoton hat das hTGM-System eingeführt, das 50 % des in Lithographie-Lasern verwendeten Neons zurückgewinnen kann. Die Technologie soll Lieferkettenunterbrechungen beheben.
Gigaphoton, ein japanischer Hersteller von Lithographie-Ausrüstung für die Halbleiterindustrie, hat sein neues Neon-Rückgewinnungssystem hTGM vorgestellt. Das System ist für den Einsatz mit den für den Halbleiterfertigungsprozess entscheidenden Argonfluorid (ArF) Excimerlasern konzipiert.
Das hTGM-System erreicht eine Rückgewinnungsrate von 50 Prozent für das verwendete Neon. Gigaphoton erklärte, dass durch weitere Konfigurationsanpassungen die Effizienz in Zukunft möglicherweise gesteigert werden kann.
Diese Entwicklung erfolgt vor dem Hintergrund anhaltender Lieferkettenprobleme in der Halbleiterindustrie, insbesondere im Hinblick auf die Verfügbarkeit von Neon. Vor 2022 war die Ukraine ein wichtiger globaler Lieferant von Neon und deckte etwa 50 Prozent des weltweiten Bedarfs für Halbleiter. Der Konflikt in der Region führte zu erzwungenen Exportstopps und störte die Lieferketten.
Neon ist eine Schlüsselkomponente in fortschrittlichen Deep-Ultraviolet (DUV)-Lithographieprozessen. Als Reaktion auf Lieferengpässe haben Länder wie China und Südkorea ihre Neonproduktion erhöht, während Chiphersteller zunehmend Systeme zur Gasrückgewinnung einführen, um die betriebliche Stabilität zu gewährleisten.