PI präsentiert berührungslose Magnetlager-Systeme für die Halbleiterfertigung
Physik Instrumente hat neue auf magnetischer Levitation basierende Positioniersysteme vorgestellt, die den Verschleiß mechanischer Lager eliminieren.
Auf der SEMICON West 2026 stellte Physik Instrumente (PI) neue Bewegungssysteme vor, die auf der Technologie der magnetischen Levitation beruhen. Diese Systeme kommen ohne mechanische Lager aus, wodurch Reibung, Verschleiß und die Notwendigkeit von Schmiermitteln in der Halbleiterfertigung entfallen.
Die gezeigten Demonstratoren umfassen einen Linear-Tisch, einen rotierenden Wafer-Tisch sowie einen Scanner für die Rasterkraftmikroskopie. Durch die aktive Steuerung in sechs Freiheitsgraden lassen sich Positionierfehler elektronisch korrigieren, was das Stapeln mehrerer mechanischer Einheiten überflüssig macht.
Die Technologie richtet sich an anspruchsvolle Anwendungen wie Hybrid-Bonding, Wafer-Inspektion und Oberflächenmetrologie. Das Konzept unterstreicht den Trend zu höheren Anforderungen an Sauberkeit und Präzision in der Halbleiterindustrie, wofür PI im Rahmen der Fachkonferenz eine Auszeichnung erhielt.