Kiinalainen korkean puhtauden fluorivety valmistaa 6N-laatua puolijohteisiin

Kiinalainen kemianyritys Binhua Group on ilmoittanut aloittaneensa 6N-luokan (99,9999 %) korkean puhtauden fluorivedyn teollisen mittakaavan tuotannon. Fluorivetyä (HF) kutsutaan "kemialliseksi veistokseksi" puolijohdeteollisuudessa, ja sitä käytetään oleellisena raaka-aineena sirujen etsaus- ja puhdistusvaiheissa.

6N-luokan HF on välttämätöntä 28 nanometrin ja sitä pienempien edistyneiden prosessien sirujen valmistuksessa. Aiempien teknisten haasteiden vuoksi tämän materiaalin keskeinen teknologia on ollut ulkomaisten yritysten hallussa, ja Kiinan tuotanto on tyypillisesti rajoittunut 5N-luokkaan (99,999 %). Pienetkin epäpuhtaudet voivat heikentää merkittävästi kotimaisten sirujen saantoa ja valmistusprosessien luotettavuutta.

Uusi tuotanto katkaisee tämän kansainvälisen riippuvuuden. Aikaisemmin ulkomaiset yritykset hallitsivat noin 80 prosenttia globaaleista 6N-luokan HF-markkinoista, joiden hintataso on yli 2 miljoonaa yuania tonnilta. Binhua Groupin tuotteen kriittiset metalli-ionien epäpuhtauspitoisuudet ovat alle 1 ppb (osa miljardista), mikä vastaa kansainvälistä huipputasoa.

Yhtiö ilmoitti, että tuotannon läpimurto ei ole yksittäinen tekninen saavutus, vaan kokonaisvaltainen järjestelmän innovaatio. Tähän kuuluu monivaiheinen tislaus, laitteistojen materiaalien valinta, pullojen puhdistus ja tarkka epäpuhtauksien mittaus. Binhua on rakentanut ja testannut 50 tonnin vuotuisen tuotantolinjan ja saanut tarvittavat luvat tuotantoon ja täyttöön.

Yritys on aloittanut tuotteensa esittelyn alan keskeisille toimijoille. Hankkeen odotetaan parantavan alueellisen kemianteollisuuden kilpailukykyä korkealaatuisten elektroniikkakemikaalien valmistuksessa ja tukevan kotimaisia pyrkimyksiä puolijohdeteollisuuden omavaraisuuteen.