EHT Semi yhdistää Bird RF -mittaustekniikan puolijohdeprosessien hallintaan
EHT Semi on integroitunut Birdin RF-mittaustekniikkaa puolijohdevalmistukseen, pyrkien parantamaan prosessien tarkkuutta ja luotettavuutta. Uusi ratkaisu tarjoaa yhtenäisen mittausviitekehyksen.
Seattle, WA – EHT Semi on ilmoittanut integroineensa Bird RF -mittaustekniikan omiin puolijohdeteholaitteisiinsa, mukaan lukien Orion™ Direct RF™ -järjestelmä ja räätälöidyt aaltomuotogeneraattorit. Integroitu Bird-anturi, jolla on NIST-seurattava kalibrointi, tarjoaa ensisijaisen mittauksen teholle, jännitteelle, virralle ja impedanssille.
Ratkaisun tavoitteena on tarjota mittausjatkuvuutta tehtaiden kalibroinnista ja järjestelmävalidointiin aina tuotantotestaukseen saakka. Tämä lähestymistapa antaa puolijohdevalmistajille yhteisen mittausreferenssin laitteiston elinkaaren aikana, mikä parantaa RF-tehodatan luotettavuutta edistyneiden prosessien karakterisoinnissa, verifioinnissa ja hallinnassa.
Integroitu Bird-anturi on nyt saatavilla valituissa Orion™ Direct RF™ -järjestelmissä ja räätälöityjen aaltomuotojen tehonsyöttöjärjestelmissä. Uusi arkkitehtuuri mahdollistaa tehonsäädön 2 prosentin tarkkuudella asetettuun pisteeseen nopeiden, dynaamisten kuormitusmuutosten aikana. Tämä tukee vaativien plasma- ja prosessiolosuhteiden vaatimaa vakautta ja reagointikykyä.
Integraatio perustuu EHT Semin ja Birdin yhteistyöhön, jonka tarkoituksena on soveltaa alan luotettavaa RF-mittaustekniikkaa puolijohdeteollisuuden tarpeisiin. Korkealaatuinen mittausdata tukee edistyneitä diagnostiikkaa, prosessianalytiikkaa ja tekoälyavusteisten palaute- ja ohjausstrategioiden kehittämistä.