Gigaphoton esittelee uuden neonkaasun kierrätysjärjestelmän puolijohdeteollisuudelle
Japanilainen Gigaphoton on lanseerannut hTGM-järjestelmän, joka kierrättää 50 % neonkaasua puolijohdevalmistuksessa käytettävissä lasereissa. Järjestelmä voi auttaa paikkaamaan puolijohdeketjun häiriöitä.
Japanilainen puolijohdevalmistuslaitteiden valmistaja Gigaphoton on esitellyt uuden hTGM-nimisen neonkaasun kierrätysjärjestelmän. Järjestelmä on suunniteltu käytettäväksi argonfluoridi-eksimerilaserien yhteydessä, joita hyödynnetään puolijohdeteollisuudessa.
Uusi järjestelmä kykenee tällä hetkellä kierrättämään 50 prosenttia käytetystä neonkaasusta. Valmistaja ilmoittaa, että järjestelmän konfiguraatiota säätämällä kierrätyskapasiteettia voidaan tulevaisuudessa vielä parantaa.
Teknologian odotetaan auttavan lieventämään neonkaasun saatavuusongelmia, jotka ovat kärjistyneet Ukrainan sodan myötä. Ennen vuotta 2022 Ukraina tuotti noin puolet maailman puolijohteissa tarvittavasta neonkaasusta, mutta maan pakotettu viennin lopettaminen on aiheuttanut katkoksen toimitusketjuun.
Neonkaasua käytetään laajasti puolijohdeteollisuudessa, erityisesti syväultraviolettivalolitografiassa. Sodan ja sitä seuranneiden toimitusongelmien vuoksi useat maat, kuten Kiina ja Etelä-Korea, ovat lisänneet oman neonkaasun tuotantoaan. Monet siruvalmistajat ovat myös alkaneet ottaa käyttöön omia neonkaasun kierrätysjärjestelmiään valmistusprosesseissaan.