JSR, Inpria ja Lam Research solmivat sopimuksen puolijohdevalmistuksen edistämiseksi
JSR Corporationin ja sen tytäryhtiön Inprian sekä Lam Researchin välinen sopimus pyrkii nopeuttamaan seuraavan sukupolven puolijohdevalmistusta, mukaan lukien EUV-litografian kuivareseptiteknologia.
JSR Corporation, tytäryhtiönsä Inpria mukaan lukien, ja puolijohdevalmistuslaitteiden toimittaja Lam Research ovat solmineet ristiin lisensointi- ja yhteistyösopimuksen.
Sopimuksen tarkoituksena on edistää puolijohdeteollisuuden siirtymistä seuraavan sukupolven valmistusmenetelmiin, erityisesti dry resist -teknologiaan EUV-litografialle. Se pyrkii myös nopeuttamaan uusien materiaalien kehitystä atomikerros-etsaus- ja pinnoitusprosesseihin. Yhteistyössä yhdistetään JSR/Inprian metallioksidipohjaiset resistimateriaalit Lam Researchin syvälliseen osaamiseen pinnoitus-, etsaus- ja EUV-kuviotekniikoissa. Lam Researchin Aether®-kuivareseptilaitteisto on keskeinen osa tätä pyrkimystä, jonka tavoitteena on alentaa tekoälyä ja suurteholaskentaa varten tarvittavien sirujen monimutkaisten kuviointien valmistuskustannuksia.
Yritykset kehittävät yhdessä ratkaisuja, joissa JSR/Inprian resistit integroidaan Lam Researchin etsaus- ja kuivareseptin pinnoitustekniikoihin. Lisäksi tutkitaan uusien esiasteaineiden ja prosessien mahdollisuuksia atomikerros-pinnoitus- ja etsausratkaisuissa hyödyntäen JSR:n hiljattain hankkimaa Yamanaka Hutech Corporationia.
Osana sopimusta JSR/Inpria ja Lam Research ovat sopineet myös keskinäisten oikeudellisten vaateidensa hylkäämisestä Delaware District Courtissa vireillä olleessa riita-asiassa.