Ningbo VET Energy valmistaa piikarbidi-lastan puolijohdeteollisuudelle
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. on alkanut valmistaa piikarbidista (SiC) valmistettua kanta-lastaa, joka on suunniteltu parantamaan puolijohdeteollisuuden LPCVD-uunien suorituskykyä.
Kiinalainen Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. valmistaa piikarbidista (SiC) valmistettua kanta-lastaa, joka on suunniteltu parantamaan puolijohdeteollisuuden LPCVD-uunien suorituskykyä. Komponentti on kriittinen osa nykyaikaisessa puolijohdevalmistuksessa, jossa tavoitellaan pienempiä laitteita, suurempaa läpimenoa ja tiukempaa kontaminaation hallintaa.
Kanta-lasta tukee piikiekkoja korkeissa lämpötiloissa ja sen materiaalin, piikarbidin, valinta vaikuttaa suoraan prosessin vakauteen ja toistettavuuteen. Piikarbidin erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea lämmönjohtavuus (120–200 W/m·K), vakaus yli 1600°C lämpötiloissa ja kestävyys syövyttäviä kemikaaleja vastaan, tekevät siitä ihanteellisen materiaalin tähän vaativaan käyttöön.
LPCVD-prosessit, kuten polysilikonin, piinitridin ja matalapaineisen oksidin kasvatus, toimivat tyypillisesti 500–900°C lämpötiloissa. Tällöin kanta-lastan vakaus on ensiarvoisen tärkeää, jotta varmistetaan kiekkojen oikea asettelu ja tasainen etäisyys toisistaan. Piikarbidin tasainen lämmönjakautuminen auttaa myös minimoimaan lämpötilagradientteja uunin sisällä, mikä on ratkaisevaa tasalaatuisen kalvon kasvattamisessa.
Lisäksi piikarbidin tiivis rakenne ja korroosionkestävyys vähentävät merkittävästi hiukkasten muodostumista verrattuna perinteisiin materiaaleihin. Hiukkaset ovat merkittävä syy tuotannon hävikkiin puolijohdeteollisuudessa, joten vähän hiukkasia muodostava kanta-lasta parantaa saantoa.
Ningbo VET Energy on erikoistunut korkealaatuisiin grafiitti- ja piikarbideihin komponentteihin. Yritys valmistaa useita muita puolijohdeteollisuuden osia, kuten piikarbidilla pinnoitettuja suskepteja ja kiekkojen kantajia, joita käytetään puolijohdeteollisuuden eri prosessilaitteissa.