VET Energy toimittaa korkeapuhdasta grafiittilämmitintä puolijohde-epitaksiaan

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd on tuonut markkinoille korkeapuhdasta grafiittilämmitintä, joka on tarkoitettu käytettäväksi korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa, kuten metalliorgaanisen kemiallisen kaasufaasipinnoituksen (MOCVD) ja piikarbidin (SiC) epitaksialla.

Nämä lämmittimet on suunniteltu toimimaan vakaasti yli 1600°C lämpötiloissa ja syövyttävissä prosessikaasuissa. Laitteen kyky hallita tarkasti lämpökenttää on kriittinen kalvon paksuuden tasaisuudelle, dopingpitoisuudelle ja waferien saannolle.

Yhtiö kertoo, että heidän isostaattinen grafiittilämmitin, jossa on 150 mikrometrin piikarbidipinnoite, on osoittanut tuloksia kolmannen sukupolven puolijohdevalmistuksessa, vähentäen vikoja 85 prosenttia ja tuottaen vuotuisia säästöjä jopa 85 000 euroa.

Korkean lämpöjohtavuuden ja alhaisen lämpölaajenemiskertoimen ansiosta grafiittilämmittimet jakavat lämmön tasaisesti. Laitteet on varustettu monivyöhykeohjauksella lämpötilavaihteluiden minimoimiseksi ja epäpuhtauksien estämiseksi. Lisäksi SiC-pinnoite suojaa lämmitintä aggressiivisilta kaasuilta ja pidentää sen käyttöikää.