PI esittelee magneettilevitoituja liikkeenohjausjärjestelmiä puolijohdeteollisuudelle
PI (Physik Instrumente) on tuonut markkinoille magneettilevitoituja liikkeenohjausjärjestelmiä, jotka mahdollistavat kuuden akselin hallinnan ilman mekaanisia laakereita.
Physik Instrumente (PI) esitteli SEMICON West 2026 -tapahtumassa uusia magneettilevitoituja liikkeenohjausjärjestelmiä. Teknologia poistaa mekaanisten laakereiden tarpeen, mikä eliminoi kitkan, kulumisen ja voiteluaineiden tarpeen puolijohdeteollisuuden tarkkuusprosesseissa.
Esitellyt laitteet sisältävät lineaarisen lavan, pyörivän kiekkolavan ja atomivoimamikroskooppiskannerin. Nämä järjestelmät mahdollistavat aktiivisen kuuden akselin ohjauksen, jolloin asemointivirheitä voidaan korjata sähköisesti yhden alustan sisällä. Tämä vähentää tarvetta pinota useita perinteisiä mekaanisia ohjaimia päällekkäin.
Uudet ratkaisut on suunnattu erityisesti hybridisidontaan, kiekkotarkastukseen ja metrologiaan. Järjestelmät saavuttivat huomiota alan konferenssissa, jossa niitä kehuttiin niiden kyvystä parantaa puhtautta ja asemointitarkkuutta nykyaikaisissa valmistusprosesseissa.