Venäläinen yritys kehitti 150 nm elektronisuihkukirjoitusjärjestelmän prototyypin

Venäläinen Zelenogradin nanoteknologiakeskus ilmoitti kesäkuussa onnistuneesti kehittäneensä 150 nanometrin elektronisuihkukirjoitusjärjestelmän prototyypin, jolle viitataan nimellä "Progress ELL 150". Laitteisto on tällä hetkellä neljän kuukauden alustavassa testausvaiheessa, jonka jälkeen tarkastellaan piirtotarkkuutta ja muita teknisiä ominaisuuksia.

Elektronisuihkukirjoitus on maskiton kuviointitekniikka, joka tarjoaa joustavuutta pienimuotoisessa valmistuksessa. Sen etuna on nopeus ja helppokäyttöisyys verrattuna perinteisiin litografiamenetelmiin, mutta se soveltuu huonosti massatuotantoon. Perinteisessä puolijohdeteollisuudessa menetelmää käytetään pääasiassa maskien valmistukseen.

Venäjän ilmailu- ja puolustusteollisuuden tarpeisiin kehitetty järjestelmä voi kuitenkin olla kaupallisesti kannattava, sillä kyseisten sirujen markkinakoko on rajallinen. Elektronimikroskooppinen kuviointi mahdollistaa kriittisten komponenttien paikallisen valmistuksen ilman suuria investointeja perinteisiin tuotantolinjoihin.