EHT Semi intègre la mesure RF Bird pour le contrôle des processus de semi-conducteurs
EHT Semi a intégré la technologie de mesure RF Bird dans ses plateformes d'alimentation pour semi-conducteurs afin d'améliorer la précision et la fiabilité des processus. La nouvelle solution offre une référence de mesure unifiée de l'étalonnage à la production.
Seattle, WA – EHT Semi a annoncé l'intégration de la technologie de mesure RF Bird dans ses plateformes d'alimentation pour semi-conducteurs, y compris le système Orion™ Direct RF™ et les générateurs de formes d'ondes sur mesure. Une sonde Bird intégrée, avec un étalonnage traçable par le NIST, fournit la mesure primaire de la puissance, de la tension, du courant et de l'impédance.
L'intégration vise à assurer la continuité de la mesure, de l'étalonnage en usine et de la validation du système jusqu'aux tests et mesures en fabrication. Cette approche fournit aux fabricants de semi-conducteurs une référence de mesure commune tout au long du cycle de vie de l'équipement, améliorant la confiance dans les données de puissance RF utilisées pour caractériser, vérifier et contrôler les processus avancés.
La sonde Bird intégrée est désormais disponible dans certains systèmes Orion™ Direct RF™ et systèmes d'alimentation à forme d'onde personnalisée. L'architecture de mesure et de contrôle résultante permet une régulation de puissance à moins de 2 % du point de consigne grâce à des changements de charge rapides et dynamiques, soutenant la stabilité et la réactivité requises pour les conditions de plasma et de processus exigeantes.
L'intégration découle d'une collaboration entre EHT Semi et Bird, axée sur l'application de la technologie de mesure RF de confiance de l'industrie aux besoins de la fabrication de semi-conducteurs. Les données de mesure haute fidélité générées par les sondes Bird intégrées peuvent prendre en charge des diagnostics avancés, des analyses de processus et le développement de stratégies de rétroaction et de contrôle accélérées par l'IA.