Fraunhofer développe un nouveau procédé de fabrication de micropuces
Fraunhofer ISIT et IMS Nanofabrication ont mis au point une nouvelle technologie de traitement MEMS, permettant la production de micropuces plus petites et plus puissantes, reconnue internationalement.
L'Institut Fraunhofer de technologie du silicium ISIT et IMS Nanofabrication GmbH ont développé conjointement une technologie révolutionnaire pour la fabrication de micropuces. Cette nouvelle méthode permet la production de puces plus petites et plus performantes, repoussant les limites antérieures de miniaturisation.
La recherche, dévoilée en avril 2021, se concentre sur un élément de commutation de système micro-électromécanique (MEMS). Cet élément est un composant essentiel d'un nouveau graveur de masques à faisceaux d'électrons multiples, un équipement clé pour la production de la dernière génération de micropuces. Alors que l'industrie a continuellement recherché des micropuces plus petites et plus performantes, les technologies de fabrication atteignaient leurs limites physiques.
Le nouveau procédé permet des tailles de processus de sept nanomètres et moins, une avancée par rapport à la limite précédente de près de dix nanomètres. Cette réalisation est unique au monde, positionnant le graveur de masques à faisceaux d'électrons multiples comme la seule technologie actuellement capable de miniaturiser davantage les puces. IMS Nanofabrication GmbH a exploité cette technologie pour consolider sa position de leader sur le marché.
Au cœur de la technologie se trouve l'élément de commutation MEMS développé par Fraunhofer ISIT. Au lieu d'utiliser un seul faisceau pour écrire les structures de masque, la nouvelle méthode emploie plus de 262 000 faisceaux d'électrons simultanés. Chaque faisceau individuel peut être précisément contrôlé et redirigé par des électrodes de commande spécialisées, permettant la création de structures complexes à haute vitesse et résolution.
Ce développement a été récompensé par le prix Joseph von Fraunhofer 2021. La technologie permet non seulement une miniaturisation accrue des micropuces, mais a également apporté un succès commercial significatif à IMS, avec un chiffre d'affaires annuel d'environ 400 millions de dollars grâce à cette technologie. Le revenu industriel de Fraunhofer ISIT a également grimpé à plus d'un million d'euros par an.