L'Institut Fraunhofer développe des méthodes de production de micropuces plus durables
L'Institut Fraunhofer des systèmes microtechniques photoniques (IPMS) participe au projet européen GENESIS, visant à développer des technologies pour réduire l'empreinte écologique de la fabrication des micropuces. Le projet se concentre sur la réduction des émissions, la substitution des matériaux critiques et le recyclage.
L'Institut Fraunhofer travaille à rendre la production de micropuces plus durable dans le cadre du projet européen GENESIS. La demande croissante de semi-conducteurs entraîne un impact environnemental accru de leur fabrication. Le Fraunhofer IPMS collabore avec plus de 50 partenaires européens pour développer de nouvelles technologies conformes au Pacte vert pour l'Europe et à la loi européenne sur les puces.
Le projet GENESIS (Generate in Europe a Sustainable Industry for Semiconductors) vise à améliorer la durabilité de l'ensemble du cycle de vie des micropuces d'ici 2028. Les priorités clés incluent la réduction des émissions, la diminution de la dépendance aux matières premières critiques et le développement de nouvelles approches de recyclage. L'initiative est financée par le programme Chips Joint Undertaking de l'Union européenne, plusieurs États membres et le Secrétariat d'État suisse à l'éducation, à la recherche et à l'innovation.
Le Fraunhofer IPMS dirige le groupe de travail axé sur la minimisation des déchets et des émissions. Les efforts de recherche se concentrent sur la réduction de l'utilisation des substances per- et polyfluoroalkylées (PFAS) et sur l'étude de matériaux et méthodes alternatifs. L'institut s'attaque également aux gaz de procédé tels que l'hexafluorure de soufre (SF₆) et le trifluorure d'azote (NF₃), qui ont un potentiel de réchauffement global élevé, en optimisant les systèmes de nettoyage des gaz résiduels.
Le projet explore également la réutilisation des matériaux, en particulier le traitement et la réutilisation des boues de planarisation chimico-mécanique (CMP) utilisées pour le polissage des wafers. L'objectif est de réduire la consommation de matériaux et d'eau, de minimiser la génération de déchets et de récupérer des matières premières précieuses pour les réintroduire dans le cycle de production.
Les installations de salle blanche de pointe du Fraunhofer IPMS offrent un environnement réaliste pour tester des processus de semi-conducteurs durables et évaluer leur impact sur la fabrication industrielle en collaboration avec les partenaires du projet.