Gigaphoton lance un nouveau système de recyclage du néon pour la fabrication de semi-conducteurs
Le fabricant japonais Gigaphoton a introduit le système hTGM, capable de recycler 50 % du néon utilisé dans les lasers de lithographie. La technologie vise à résoudre les perturbations de la chaîne d'approvisionnement.
Gigaphoton, un fabricant japonais d'équipements de lithographie pour semi-conducteurs, a dévoilé son nouveau système de recyclage du gaz néon, le hTGM. Ce système est conçu pour être utilisé avec les lasers à excimères à fluorure d'argon (ArF), essentiels au processus de fabrication des semi-conducteurs.
Le système hTGM atteint un taux de recyclage de 50 % du gaz néon. Gigaphoton a indiqué que des ajustements de configuration supplémentaires pourraient potentiellement augmenter cette efficacité à l'avenir.
Ce développement intervient alors que l'industrie des semi-conducteurs est confrontée à des défis persistants dans sa chaîne d'approvisionnement, en particulier concernant le néon. Avant 2022, l'Ukraine était un fournisseur mondial majeur de néon, représentant environ 50 % du néon de qualité semi-conducteur au niveau mondial. Le conflit dans la région a entraîné des arrêts d'exportation forcés, perturbant l'approvisionnement.
Le gaz néon est un composant clé dans les processus avancés de lithographie ultraviolette profonde (DUV). En réponse aux pénuries d'approvisionnement, des pays comme la Chine et la Corée du Sud ont augmenté leur production de néon, tandis que les fabricants de puces adoptent de plus en plus des systèmes de recyclage de gaz pour assurer la stabilité opérationnelle.