Huayang Precision et Zeiss lancent un équipement de mesure pour semi-conducteurs

Le fabricant taïwanais d'équipements pour semi-conducteurs, Huayang Precision, a annoncé le 5 octobre le lancement de son système de mesure COSMA-M, développé en collaboration avec l'allemand Zeiss. Le nouvel équipement répond aux besoins de mesure exigeants du secteur des semi-conducteurs, notamment pour la production de masques photographiques, les emballages avancés et la fabrication de plaquettes.

Le système COSMA-M est conçu pour offrir une précision de mesure au niveau nanométrique, atteignant une stabilité de 3σ inférieure à 3 nanomètres. Ce niveau de précision est essentiel pour satisfaire aux exigences strictes des processus de fabrication de semi-conducteurs de pointe. Le système peut être équipé de modules complémentaires pour permettre des flux de mesure entièrement automatisés.

Les applications du COSMA-M couvrent des domaines tels que les masques photographiques Ultraviolet Profond (DUV), les technologies d'emballage avancées, les Through-Glass Vias (TGV) et les Co-Packaged Optics (CPO). Huayang Precision a déjà initié des tests de validation d'échantillons avec des clients potentiels.

L'introduction du COSMA-M répond à la demande croissante de l'industrie des semi-conducteurs en matière de précision et d'automatisation accrues tout au long de sa chaîne de production. La collaboration avec Zeiss, un leader reconnu dans le domaine de l'optique et de la technologie de mesure, souligne l'engagement de Huayang Precision à fournir des solutions sophistiquées.