Ningbo VET Energy fabrique une palette cantilever en carbure de silicium pour la fabrication de semi-conducteurs

La société chinoise Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. fabrique une palette cantilever en carbure de silicium (SiC), destinée à améliorer les performances des fours à dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Ce composant est essentiel pour les processus de fabrication modernes de semi-conducteurs qui exigent des géométries de dispositifs plus petites, un débit de wafers plus élevé et un contrôle plus strict de la contamination.

La palette cantilever supporte les wafers de semi-conducteurs dans des environnements de traitement à haute température. Le choix du carbure de silicium comme matériau est significatif, influençant directement la stabilité et la répétabilité du processus. Les propriétés du SiC, y compris sa conductivité thermique élevée (120-200 W/m·K), sa stabilité à des températures supérieures à 1600°C et sa résistance aux produits chimiques de process corrosifs, le rendent adapté à ces applications exigeantes.

Les processus LPCVD, tels que la déposition de polysilicium, de nitrure de silicium et d'oxyde à basse pression, fonctionnent typiquement entre 500°C et 900°C. Dans cet environnement, l'intégrité structurelle de la palette est cruciale pour assurer un espacement stable des wafers et prévenir les désalignements. La conductivité thermique du SiC aide également à minimiser les gradients de température dans le four, contribuant à une déposition uniforme des couches.

De plus, la structure dense et la résistance à la corrosion du SiC réduisent considérablement la génération de particules par rapport aux matériaux traditionnels. Les particules sont une cause majeure de pertes de rendement dans la fabrication de semi-conducteurs, rendant les composants à faible émission de particules comme la palette SiC essentiels pour améliorer l'efficacité de la production.

Ningbo VET Energy est spécialisée dans les composants avancés en graphite et en carbure de silicium pour la fabrication de semi-conducteurs. L'entreprise produit également d'autres pièces connexes, telles que des susceptors revêtus de SiC et des porteurs de wafers, utilisés dans divers équipements de traitement de semi-conducteurs. La demande croissante de semi-conducteurs de puissance avancés devrait stimuler un besoin continu de tels composants de four de haute pureté et stables.