Ningbo VET Energy fournit des réchauffeurs graphites haute pureté pour l'épitaxie de semi-conducteurs

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd fournit des réchauffeurs graphites de haute pureté conçus pour les processus de semi-conducteurs à haute température tels que le dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) et l'épitaxie de carbure de silicium (SiC).

Ces réchauffeurs sont conçus pour un fonctionnement stable à des températures supérieures à 1600°C dans des gaz de processus corrosifs, où un contrôle précis du champ thermique est essentiel pour l'uniformité du film, la concentration de dopage et le rendement des wafers. L'entreprise indique que ses réchauffeurs graphite isotrope avec un revêtement SiC CVD de 150 µm ont démontré des améliorations significatives dans la fabrication de semi-conducteurs de troisième génération, avec une réduction de 85 % des défauts et des économies annuelles de 85 000 €.

Grâce à une conductivité thermique élevée et à un faible coefficient de dilatation thermique, les réchauffeurs graphite assurent une répartition uniforme de la chaleur. Ils intègrent un contrôle de température multi-zones pour minimiser les variations et prévenir la contamination. Le revêtement SiC protège le réchauffeur des gaz agressifs et prolonge sa durée de vie, répondant à la sensibilité des processus d'épitaxie aux impuretés métalliques et à la projection de particules.