PI présente des systèmes de mouvement à lévitation magnétique pour le secteur des semi-conducteurs
Physik Instrumente a dévoilé des plateformes de positionnement à lévitation magnétique, supprimant le besoin de roulements mécaniques dans les processus de haute précision.
Lors du salon SEMICON West 2026, Physik Instrumente (PI) a présenté de nouveaux systèmes de mouvement basés sur la lévitation magnétique. Cette technologie remplace les roulements mécaniques traditionnels par des champs magnétiques actifs, éliminant ainsi les problèmes de frottement, d'usure et de lubrification.
La gamme présentée comprend une platine linéaire, une platine rotative pour plaquettes (wafers) et un scanner de microscopie à force atomique. Ces dispositifs permettent un contrôle actif sur six axes, facilitant la correction électronique des erreurs de positionnement. Cette approche simplifie la conception des machines en réduisant le besoin d'empiler plusieurs étages mécaniques.
Ces solutions ciblent les applications nécessitant une grande pureté et une précision accrue, notamment le « hybrid bonding » et la métrologie de surface. Ces avancées visent à répondre aux exigences croissantes en matière de rendement et de performance dans la fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération.