Les bateaux de plaquettes en céramique SiC améliorent la fabrication de semi-conducteurs
De nouveaux bateaux de plaquettes en céramique de carbure de silicium remplacent les supports traditionnels en quartz dans les fours de diffusion et d'oxydation des semi-conducteurs, améliorant l'uniformité de la température et réduisant les défauts.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. a présenté de nouveaux bateaux de plaquettes en céramique de carbure de silicium (SiC) conçus pour améliorer l'efficacité et la fiabilité des processus de fabrication de semi-conducteurs.
Ces bateaux en SiC remplacent de plus en plus les supports traditionnels en quartz, en particulier dans la fabrication de plaquettes de 300 mm, la production de semi-conducteurs de puissance et la fabrication de semi-conducteurs de troisième génération. Le matériau SiC offre une conductivité thermique (120–200 W/m·K contre 1,4 W/m·K pour le quartz) et une rigidité mécanique considérablement supérieures. Cette amélioration se traduit par une distribution plus uniforme de la température dans le four, une réduction des contraintes thermiques et moins de défauts dans les plaquettes de semi-conducteurs.
Les processus de diffusion et d'oxydation sont des étapes fondamentales dans la fabrication des semi-conducteurs, impliquant souvent des températures allant d'environ 900°C à 1200°C, et potentiellement plus de 1300°C pour les applications de semi-conducteurs de puissance. Les bateaux traditionnels en quartz peuvent ramollir ou se déformer à ces températures élevées, affectant la répétabilité du processus. Les bateaux en SiC conservent leur forme et leur précision dimensionnelle pendant de longues périodes, assurant un espacement constant des plaquettes et un flux de gaz stable tout au long du processus.
Les bateaux en SiC sont fabriqués à l'aide de diverses technologies, y compris le carbure de silicium recristallisé (RSiC), qui offre une grande pureté et une stabilité thermique sans additifs de frittage significatifs. Cela minimise le risque de contamination dans les environnements de semi-conducteurs. L'entreprise souligne la dureté élevée et la résistance chimique du matériau, le rendant adapté aux applications exigeantes à haute température.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. vise à fournir des composants SiC de haute qualité qui répondent à la demande croissante de l'industrie pour un contrôle de processus amélioré et des rendements plus élevés dans la fabrication de semi-conducteurs.