Tomocube lance son système de bureau pour l'analyse 3D des défauts des substrats de verre

Basée à Daejeon, en Corée du Sud, Tomocube, entreprise spécialisée dans l'inspection non destructive et la métrologie 3D, a présenté son nouveau système HT-T1 Desktop (HT-T1D). Cet appareil est conçu pour l'analyse 3D à haute résolution des défauts présents dans les substrats de verre utilisés dans le conditionnement des semi-conducteurs de nouvelle génération.

Le système est optimisé pour les flux de travail d'inspection et de métrologie des substrats de verre. Lorsque les systèmes conventionnels d'inspection optique automatisée (AOI) signalent un défaut potentiel, le HT-T1D peut localiser précisément et reconstruire en trois dimensions la zone étudiée à l'intérieur du substrat de verre. Ceci permet une cartographie détaillée de la position, de la morphologie et des caractéristiques de profondeur du défaut, allant au-delà de ce qu'une simple inspection de surface peut révéler.

Les substrats de verre, y compris les substrats à cœur de verre et les interposeurs en verre, deviennent des matériaux essentiels pour des applications telles que les accélérateurs d'IA et la mémoire à large bande passante (HBM). Avec l'entrée de ces matériaux en production de masse, les fabricants sont confrontés à des défis importants pour identifier les causes profondes des micro-défauts qui surviennent lors d'étapes de fabrication complexes telles que le perçage laser et la gravure. Étant donné qu'un seul défaut critique peut rendre une unité entière inutilisable, la capacité à traduire rapidement les données d'inspection en améliorations de processus est cruciale pour maintenir la stabilité de la ligne de production.

Le HT-T1D utilise la technologie d'holotomographie de Tomocube pour visualiser la distribution tridimensionnelle de l'indice de réfraction dans le verre. La mesure est entièrement non destructive, permettant une analyse répétée du même endroit à différentes étapes du processus. Ceci peut considérablement raccourcir les cycles d'analyse des défauts, passant de plusieurs jours ou semaines à quelques minutes seulement, permettant une intervention précoce avant des étapes ultérieures coûteuses.

Parallèlement au matériel, Tomocube a également introduit TAMI (TomoAnalysis MI), une plateforme logicielle dédiée à l'analyse 3D. TAMI analyse quantitativement les données volumétriques de l'indice de réfraction 3D et génère des rapports structurés. La plateforme offre un flux de travail unifié, de la R&D à l'inspection finale en ligne de production. Tomocube travaillera en étroite collaboration avec les fabricants pour optimiser les processus liés à l'analyse 3D des défauts et à l'optimisation du rendement.