Tomocube lance le HT-T1 Desktop pour l'analyse 3D des défauts des substrats en verre

Daejeon, Corée du Sud – Tomocube, spécialiste de l'inspection et de la métrologie 3D non destructive, lance le HT-T1 Desktop (HT-T1D). Ce système d'holotomographie compact offre une analyse 3D des défauts à haute résolution et sans destruction des substrats en verre, un matériau clé pour les emballages de semi-conducteurs de nouvelle génération.

Le HT-T1D est optimisé pour les flux d'inspection et de métrologie des substrats en verre. Lorsque les outils d'inspection conventionnels, tels que les systèmes d'inspection optique automatisée (AOI), signalent un défaut potentiel, le HT-T1D utilise ces coordonnées pour reconstruire et analyser l'intérieur du substrat en trois dimensions. Cela permet une résolution précise de la position, de la morphologie et du profil de profondeur des défauts internes qui pourraient ne pas être détectables par une simple inspection de surface.

Les substrats en verre gagnent en importance pour les applications d'emballage avancées, telles que les accélérateurs d'IA et la mémoire à large bande passante (HBM). Cependant, la fabrication de ces substrats pose des défis en matière d'identification des micro-défauts qui peuvent survenir lors d'étapes de fabrication complexes. Étant donné qu'un seul défaut critique peut rendre une unité entière inutilisable, la traduction rapide des données d'inspection en améliorations de processus est cruciale pour la stabilité de la ligne de production.

Le système utilise la technologie d'holotomographie de Tomocube pour visualiser la distribution tridimensionnelle de l'indice de réfraction dans le verre avec une grande sensibilité. Comme la mesure est entièrement non destructive, le même échantillon peut être examiné plusieurs fois au cours des différentes étapes du processus. Cela accélère considérablement la compréhension de la formation et de la propagation des défauts, réduisant le temps d'analyse de plusieurs jours ou semaines à quelques minutes et permettant une intervention précoce avant des étapes coûteuses.

Tomocube a également lancé la plateforme logicielle TomoAnalysis MI (TAMI), conçue pour l'analyse quantitative des données 3D et la génération de rapports structurés. TAMI assure un flux de travail cohérent, de l'analyse R&D à l'examen en ligne de production, en prenant en charge les données du HT-T1D ainsi que celles du futur module en ligne HT-T1M.