Kinesisk högrent fluorväte för halvledare når 6N-klass

Det kinesiska kemikoncernet Binhua Group har meddelat att man har inlett storskalig industriell produktion av 6N-klass (99,9999 %) högrent fluorväte (HF). Fluorväte kallas "kemisk gravyrkniv" inom halvledarindustrin och är en nödvändig råvara för etsning och rengöring av chip.

6N-klass HF är en förutsättning för tillverkning av avancerade chip med processnoder på 28 nanometer och mindre. Tidigare har tekniken för detta material dominerats av utländska företag, och Kinas produktion har typiskt sett legat på 5N-klass (99,999 %). Även små föroreningar kan drastiskt minska utbytet och tillförlitligheten för inhemskt tillverkade chip.

Den nya produktionen ska minska detta internationella beroende. Tidigare kontrollerade utländska företag cirka 80 procent av världsmarknaden för 6N-klass HF, som kan kosta över 2 miljoner yuan per ton. Binhua Groups produkt har metalljonföroreningsnivåer under 1 ppb (parts per billion), vilket motsvarar internationell toppklass.

Företaget uppger att genombrottet inte är en enskild teknisk prestation utan en integrerad systeminnovation. Detta inkluderar flerstegsdestillering, materialval för utrustning, rengöring av cylindrar och exakt mätning av föroreningar. Binhua har byggt och testat en produktionslinje med en kapacitet på 50 ton per år och erhållit nödvändiga tillstånd för produktion och fyllning.

Koncernen har börjat marknadsföra produkten till viktiga aktörer inom branschen. Initiativet förväntas stärka den regionala kemiindustrins konkurrenskraft inom högkvalitativa elektronikkemikalier och stödja Kinas ambitioner om självförsörjning inom halvledarindustrin.