EHT Semi integrerar Bird RF-mätning för att förbättra halvledarprocesskontroll
EHT Semi har integrerat Bird RF-mätteknik i sin utrustning för halvledartillverkning för att förbättra processprecision och tillförlitlighet. Den nya lösningen erbjuder en enhetlig referens för mätningar.
Seattle, WA – EHT Semi har meddelat integrationen av Bird RF-mätteknik i sina halvledarkraftplattformar, inklusive Orion™ Direct RF™ System och anpassade vågformsgeneratorer. En inbyggd Bird-prob, med NIST-spårbar kalibrering, ger primär mätning av effekt, spänning, ström och impedans.
Integrationen syftar till att ge mätkontinuitet från fabrikskalibrering och systemvalidering genom testning och mätning i fabriken. Detta tillvägagångssätt ger halvledartillverkare en gemensam mätreferens över utrustningens livscykel, vilket förbättrar förtroendet för RF-effektdatan som används för att karakterisera, verifiera och kontrollera avancerade processer.
Den integrerade Bird-probben är nu tillgänglig i utvalda Orion™ Direct RF™ System- och anpassade vågformseffektssystem. Den resulterande mät- och kontrollarkitekturen möjliggör effektregering inom 2% av börvärdet genom snabba, dynamiska lastförändringar, vilket stöder den stabilitet och respons som krävs för krävande plasma- och processförhållanden.
Integrationen bygger på ett samarbete mellan EHT Semi och Bird, med fokus på att tillämpa branschledande RF-mätteknik på halvledartillverkningsindustrins behov. Den högkvalitativa mätdata som genereras av de integrerade Bird-probberna kan stödja avancerad diagnostik, processanalys och utveckling av AI-accelererade återkopplings- och kontrollstrategier.