Fraunhofer-institutet utvecklar mer hållbara metoder för mikrotillverkning
Fraunhofer-institutet IPMS deltar i EU-projektet GENESIS, som syftar till att utveckla teknologier för att minska den ekologiska påverkan från mikrotillverkning. Projektet fokuserar på att minska utsläpp, ersätta kritiska material och främja återvinning.
Fraunhofer-institutet arbetar för att göra mikrotillverkning mer hållbar som en del av det bredare europeiska projektet GENESIS. Den ökande efterfrågan på mikrochips leder till en allt större ekologisk påverkan från produktionen. Fraunhofer-institutet för fotoniska mikrosystem (IPMS) samarbetar med över 50 europeiska partners för att utveckla ny teknik som uppfyller målen i Europeiska Gröna Given och EU:s chiplag.
GENESIS-projektet (Generate in Europe a Sustainable Industry for Semiconductors) syftar till att förbättra hållbarheten under hela mikrochipens livscykel till år 2028. Huvudfokus ligger på att minska utsläpp, minska beroendet av kritiska råvaror och utveckla mer effektiva återvinningsmetoder. Projektet finansieras av Europeiska unionen genom programmet Chips Joint Undertaking, samt av flera medlemsstater och det schweiziska statssekretariatet för utbildning, forskning och innovation.
Fraunhofer IPMS leder arbetspaketet för minimering av avfall och utsläpp inom projektet. Forskningen fokuserar särskilt på att minska användningen av per- och polyfluoralkylsubstanser (PFAS) och att undersöka alternativa material och metoder. Dessutom arbetar man med att minska utsläppen av processgaser som svavelhexafluorid (SF₆) och kvävetrifluorid (NF₃), vilka har en betydande klimatpåverkan, genom att optimera system för rening av avfallsgaser.
Projektet undersöker också återanvändning av material. Ett område är behandlingen och återvinningen av kemiska-mekaniska planariserings (CMP) slurries. Dessa slurries är nödvändiga i poleringsprocessen av kiselskivor. Målet är att minska material- och vattenförbrukningen samt avfallsmängden. Dessutom strävar man efter att återvinna värdefulla råmaterial och återinföra dem i produktionscykeln.
Fraunhofer IPMS avancerade renrumsmiljöer möjliggör testning av hållbara halvledarprocesser under realistiska förhållanden och utvärdering av deras påverkan på industriella produktionsprocesser i samarbete med partners.