Gigaphoton introducerar nytt system för återvinning av neon för halvledarindustrin
Japanska Gigaphoton har lanserat hTGM-systemet, som återvinner 50 % av neonet som används i halvledartillverkningslasrar. Systemet kan hjälpa till att åtgärda störningar i halvledarkedjan.
Den japanska tillverkaren av halvledartillverkningsutrustning Gigaphoton har presenterat ett nytt system för återvinning av neon, kallat hTGM. Systemet är utformat för användning med excimerlasrar av argonfluoridtyp (ArF), som är avgörande inom halvledarindustrin.
Det nya systemet kan för närvarande återvinna 50 procent av det använda neonet. Tillverkaren anger att återvinningskapaciteten kan förbättras ytterligare i framtiden genom att justera systemets konfiguration.
Tekniken förväntas bidra till att lindra problem med tillgången på neon, vilka har förvärrats till följd av kriget i Ukraina. Före 2022 stod Ukraina för ungefär hälften av världens neonproduktion för halvledare, men landets tvingade exportstopp har orsakat störningar i leveranskedjan.
Neongas används i stor utsträckning inom halvledarindustrin, särskilt i djup ultraviolett (DUV) litografi. På grund av kriget och de efterföljande leveransproblemen har flera länder, inklusive Kina och Sydkorea, ökat sin egen neonproduktion. Många chipstillverkare har också börjat implementera egna system för återvinning av neon i sina tillverkningsprocesser.