Huayang Precision och Zeiss lanserar utrustning för halvledarmätning

Taiwanesiska halvledartillverkaren Huayang Precision meddelade den 5 oktober att de lanserar mätutrustningen COSMA-M tillsammans med tyska Zeiss. Den nya utrustningen är avsedd att möta de krävande mätbehoven inom halvledarindustrin, särskilt för masktillverkning, avancerad paketering och kiselplattor.

COSMA-M kan leverera mätningar med nanometerprecision, med en stabilitet på 3σ under 3 nanometer. Denna prestanda är avgörande för att säkerställa den höga noggrannhet som krävs i de senaste halvledarprocesserna. Ytterligare moduler kan integreras för att möjliggöra helt automatiserade mätprocesser.

Utrustningens applikationsområden inkluderar djup ultraviolett (DUV) -masker, avancerade paketeringstekniker, Through-Glass Vias (TGV) och Co-Packaged Optics (CPO) -lösningar. Huayang Precision har redan inlett valideringstester med potentiella kunder, och preliminära tester pågår.

Utrustningen syftar till att möta halvledarindustrins växande behov av precision och automation i alla steg av tillverkningsprocessen. Samarbetet med Zeiss, en välkänd expert inom optik och mätteknik, stärker Huayang Precisions förmåga att leverera avancerade lösningar.