JSR, Inpria och Lam Research tecknar avtal för att främja halvledartillverkning
Ett avtal mellan JSR Corporation, dess dotterbolag Inpria och Lam Research syftar till att påskynda nästa generations halvledartillverkning, inklusive torrresist-teknik för EUV-litografi.
JSR Corporation, inklusive sitt dotterbolag Inpria, och Lam Research, en leverantör av utrustning för halvledartillverkning, har ingått ett korslicensierings- och samarbetsavtal.
Avtalet syftar till att påskynda halvindustrins övergång till nästa generations tillverkningsprocesser, särskilt torrresist-teknik för EUV-litografi. Det syftar också till att påskynda utvecklingen av nya material för atomlager-etsnings- och deponeringsprocesser.
Samarbetet kombinerar JSR/Inprias metalloxidbaserade resistmaterial med Lam Researchs djupa expertis inom deponering, etsning och EUV-mönstringstekniker. Lam Researchs Aether® torrresistutrustning är en central del av detta initiativ, som syftar till att minska kostnaderna för att tillverka de komplexa mönster som krävs för chip för artificiell intelligens och högpresterande databehandling.
Företagen kommer att utveckla lösningar tillsammans, där JSR/Inprias resist integreras med Lam Researchs etsnings- och torrresist-deponeringstekniker. Dessutom kommer nya prekursormaterial och processer för atomlagerdeponering och etsningslösningar att undersökas med hjälp av JSR:s nyligen förvärvade Yamanaka Hutech Corporation.
Som en del av avtalet har JSR/Inpria och Lam Research också kommit överens om att avvisa alla ömsesidiga rättsliga anspråk i det pågående rättsfallet vid Delaware District Court.