Ningbo VET Energy tillverkar kiselkarbidpaddel för halvledarindustrin

Det kinesiska företaget Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. tillverkar en kiselkarbid (SiC) cantilever-paddel, utformad för att förbättra prestandan i halvledarindustrins LPCVD-ugnar. Komponenten är en kritisk del i modern halvledartillverkning, som strävar efter mindre enheter, högre genomströmning och striktare kontroll av kontaminering.

Cantilever-paddeln stöder kiselwafers vid höga temperaturer, och valet av material, kiselkarbid, påverkar direkt processens stabilitet och repeterbarhet. Kiselkarbidens utmärkta egenskaper, inklusive hög värmeledningsförmåga (120–200 W/m·K), stabilitet vid temperaturer över 1600°C och motståndskraft mot korrosiva kemikalier, gör den till ett idealiskt material för denna krävande applikation.

LPCVD-processer, såsom deposition av polykisel, kiselnitrid och lågtrycksoxid, opererar vanligtvis vid temperaturer mellan 500°C och 900°C. I dessa förhållanden är paddelns stabilitet avgörande för att säkerställa korrekt positionering och jämnt avstånd mellan wafers. Kiselkarbidens jämna värmefördelning hjälper också till att minimera temperaturskillnader inuti ugnen, vilket är avgörande för att odla en enhetlig film.

Dessutom minskar kiselkarbidens täta struktur och korrosionsbeständighet partikelgenerering avsevärt jämfört med traditionella material. Partiklar är en betydande orsak till produktionsförluster inom halvledarindustrin, så en paddel med låg partikelbildning förbättrar utbytet.

Ningbo VET Energy specialiserar sig på högkvalitativa grafit- och kiselkarbidkomponenter. Företaget tillverkar flera andra delar för halvledarindustrin, såsom kiselkarbidbelagda susceptorer och waferhållare, som används i olika processutrustningar inom halvledarsektorn.