VET Energy levererar grafitvärmare med hög renhet för halvledarepitaxi

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd har lanserat en grafitvärmare med hög renhet, avsedd för högtemperaturprocesser inom halvledartillverkning, såsom metallorganisk kemisk ångdeposition (MOCVD) och kiselkarbid (SiC) epitaxi.

Dessa värmare är konstruerade för att fungera stabilt vid temperaturer över 1600°C och i korrosiva processgaser. Enhetens förmåga att exakt kontrollera termiska fält är avgörande för enhetlig filtjocklek, dopningskoncentration och waferavkastning.

Företaget rapporterar att deras isotropa grafitvärmare med en 150 mikrometer tjock kiselkarbidbeläggning (SiC) har visat resultat inom tredje generationens halvledartillverkning, med en minskning av defekter med 85 % och årliga besparingar upp till 85 000 euro.

Genom hög värmeledningsförmåga och låg termisk expansionskoefficient fördelar grafitvärmarna värmen jämnt. Enheterna är utrustade med multizonkontroll för att minimera temperaturvariationer och förhindra föroreningar. Dessutom skyddar SiC-beläggningen värmaren från aggressiva gaser och förlänger dess livslängd.