PI introducerar magnetiskt leviterade rörelsesystem för halvledartillverkning
PI (Physik Instrumente) har presenterat nya system för precisionsrörelse baserade på magnetisk levitation som eliminerar behovet av mekaniska lager.
Physik Instrumente (PI) har presenterat en serie nya rörelsesystem under SEMICON West 2026 som använder magnetisk levitation för att styra komponenter i sex axlar. Genom att avlägsna mekaniska lager elimineras problem med friktion, mekaniskt slitage och behovet av smörjmedel, vilket är kritiskt i renrumsmiljöer.
Sortimentet omfattar en linjärstegsenhet, en roterande wafer-plattform och en skanner för atomkraftsmikroskopi (AFM). Systemen möjliggör elektronisk korrigering av rörelsefel, vilket minskar komplexiteten jämfört med konventionella system som kräver stapling av flera mekaniska steg.
Tekniken är främst avsedd för tillämpningar inom hybridbonding, wafer-inspektion och ytmetrologi. Vid konferensen uppmärksammades utvecklingen som en metod för att möta kraven på ökad precision och renhet vid tillverkning av nästa generations halvledarkomponenter.