Kiselkarbidkeramiska brickbåtar förbättrar halvledartillverkning
Nya kiselkarbidkeramiska brickbåtar ersätter traditionella kvartslösningar i halvledarindustrins diffusions- och oxidationsugnar, vilket förbättrar temperaturjämvikten och minskar defekter.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. har introducerat nya kiselkarbidkeramiska (SiC) brickbåtar, designade för att öka effektiviteten och tillförlitligheten i halvledartillverkningsprocesser.
Dessa SiC-brickbåtar ersätter traditionella kvartsbärare, särskilt inom tillverkning av 300 mm-wafer, produktion av krafthalvledare och tillverkning av tredje generationens halvledare. SiC-materialet erbjuder betydligt bättre värmeledningsförmåga (120–200 W/m·K jämfört med kvartsens 1,4 W/m·K) och mekanisk styvhet. Detta leder till jämnare temperaturfördelning i ugnen, minskad termisk stress och färre defekter under tillverkningen av halvledarwafar.
Diffusions- och oxidationsprocesser är kritiska steg i halvledartillverkningen, med temperaturer som kan nå upp till 1200°C eller över 1300°C för krafthalvledare. Traditionella kvartsbrickbåtar kan mjukna eller deformeras vid dessa höga temperaturer, vilket påverkar processens reproducerbarhet. SiC-brickbåtarna bibehåller sin form och dimensionsnoggrannhet under längre perioder, vilket säkerställer jämna avstånd mellan wafern och stabila gasflöden under hela processen.
Tillverkningen av SiC-brickbåtar använder olika tekniker, inklusive rekristalliserad kiselkarbid (RSiC), som ger hög renhet och termisk stabilitet utan behov av signifikanta sintringsmedel. Detta minskar risken för kontaminering i halvledarmiljöer. Företaget anger att materialets höga hårdhet och kemiska resistens gör det lämpligt för krävande högtemperaturoperationer.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. fokuserar på att leverera högkvalitativa SiC-komponenter som svarar mot den ökande efterfrågan inom industrin på förbättrad processkontroll och högre utbyte i halvledartillverkningen.