Tomocube lanserar HT-T1 Desktop för 3D-defektanalys av glassubstrat

Daejeon, Sydkorea – Tomocube, ett företag specialiserat på icke-förstörande 3D-inspektionsteknik, har lanserat HT-T1 Desktop (HT-T1D). Systemet är utformat för högupplöst 3D-defektanalys av glassubstrat, en kritisk komponent i nästa generations halvledaremballage.

HT-T1D är optimerat för inspektions- och mätflöden för glassubstrat. När befintliga verktyg, som automatisk optisk inspektion (AOI), identifierar en potentiell defekt, kan HT-T1D använda dessa koordinater för att tredimensionellt rekonstruera och analysera substratets inre. Detta möjliggör en detaljerad analys av defektens position, morfologi och djup, inklusive sådana som inte är synliga vid enbart ytinspektion.

Glassubstrat blir allt viktigare för avancerade emballeringslösningar, inklusive AI-acceleratorer och High Bandwidth Memory (HBM). Tillverkningen av dessa substrat medför dock utmaningar gällande identifiering av mikrodefekter som kan uppstå under komplexa processer som laserskärning och etsning. Eftersom en enda defekt kan förstöra en hel enhet, är snabb analys och processjustering avgörande för produktionsstabilitet.

Tomocubes holotomografiteknik visualiserar den tredimensionella brytningsindexfördelningen inuti glaset med hög känslighet. Eftersom mätningen är icke-förstörande kan samma prov undersökas flera gånger under olika processteg. Detta minskar drastiskt tiden för analys och felorsaksidentifiering, från dagar eller veckor till minuter, vilket möjliggör tidiga ingripanden före kostsamma efterföljande processer.

Företaget introducerar även mjukvaruplattformen TomoAnalysis MI (TAMI) för 3D-datanalys och rapportering. TAMI säkerställer ett enhetligt arbetsflöde från FoU-undersökningar till produktionslinjeinspektioner, eftersom den kan hantera data från både HT-T1D och det framtida produktionsnära systemet HT-T1M.