VET Energy levererar högrena grafittstativ för halvledarindustrin

Det kinesiska företaget Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. har inlett leveranser av högrena grafittstativ, vilka är avgörande komponenter vid tillverkning av halvledarkomponenter. Dessa stativ används specifikt i kemiska gasfasavsättningsprocesser (CVD) och metallo-organiska kemiska gasfasavsättningsprocesser (MOCVD), vilka är nödvändiga för produktion av den senaste generationens kiselkarbid- (SiC) och galliumnitrid- (GaN) halvledare.

Grafittstativ fungerar som precisionsverktyg som håller kiselwafers på plats under höga temperaturer och korrosiva förhållanden inuti halvledarfabrikanternas reaktorkammare. De är tillverkade av högrent grafitmaterial och är ofta försedda med en kemiskt resistent kiselkarbidbeläggning (SiC). Denna beläggning förhindrar att grafiten dammar och skyddar den från skador orsakade av reaktionsgaser, samtidigt som den säkerställer en ren tillverkningsmiljö.

Stativ som tillverkas av VET Energy är konstruerade för att tåla temperaturer över 1500 grader Celsius och för att leverera en jämn värmefördelning över kiselwafern. Denna jämnhet är kritisk för enhetligheten i de epitaxiala skikten, vilket direkt påverkar halvledarkomponenternas prestanda. Företaget använder avancerad CNC-bearbetningsteknik för att skapa exakta fickor och kanaler i stativen, skräddarsydda för specifika reaktorer och processer.

Användningen av dessa grafittstativ möjliggör en effektivare och stabilare produktionsprocess inom halvledartillverkning, särskilt i övergången till produktion av mer effektiva och högtemperaturbeständiga kiselkarbid- och galliumnitridbaserade enheter. VET Energy betonar sina produkters hållbarhet, precision och tillförlitlighet under krävande förhållanden.